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精密量測
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外觀瑕疵檢測系統PCG322

設備尺寸:4,800 mmx 2,200 mmx 2,000 mm (W x D x H)

產品介紹
  • 檢測產品: CG + OCA + DITO + AR

  • l檢測功能:檢測大尺寸面板表面瑕疵

  • 產品尺寸:7-13

  • 檢測速度:30 sec/pcs

  • 檢測精度:30 nm

  • 無塵等級:Class 100

  • 可根據生產製程量測需求客製化